王曦：祖国的需要就是最大的舞台

　　王曦（右二）在洁净室。资料照片

　　“你必须把自己的研究与国家的战略需要联系起来，要有大眼界，做大事，那样你才会变得强大，立于不败之地。”——王曦

　　1998年6月，正在德国洪堡罗森多夫研究中心做访问学者的王曦，提前回国。按原计划，王曦至少可以再做一年“洪堡学者”；以他对离子注入技术的长期研究，长留国外也轻而易举。

　　说动他的，是时任中科院上海冶金所（即日后的微系统所）所长江绵恒。1997年秋天，江绵恒来到德国告诉王曦：“中科院要干大事情了，要有大发展了，也更需要人才了。”

　　SOI，即“绝缘体上的硅”。国际上公认，SOI是21世纪的微电子前沿技术之一，在低压、低功耗电路、耐高温电路、微机械传感器、光电集成等方面都有重要应用。而高端硅基SOI制备中的关键技术，正是王曦钻研多年的“离子注入”。

　　就在王曦回国后不久，美国IBM公司宣布将SOI材料民用化并用于生产处理器芯片。而我国材料学界尽管从上世纪80年代起就在研究SOI材料，但中国的SOI从未走出过实验室。

　　“硅薄片的原材料价格仅为20美元，而合格的SOI硅片价格却高达250美元，高技术创造的高附加值，多么诱人！”王曦回忆，加大SOI技术的应用研究力度，并走上产业化道路，成为摆在面前的必然选择。

　　走出第一步——技术攻关，用了3年。这期间，王曦记不清与同伴们熬了多少个通宵。2001年7月，SOI的产业化有了初步成果。中科院上海微系统所发起成立了上海新傲科技有限公司。做惯了科学家的王曦，当起了老板。

　　对初出茅庐的新傲公司，甚至对整个中国而言，想要在SOI技术产业化的国际市场上站稳脚跟乃至分一杯羹，需要付出的努力难以想象。2002年，中国第一批商业化生产的SOI圆片问世。拥有核心自主知识产权、16项已授权的国家发明专利，形成我国首部SOI技术企业标准。美国《半导体商业新闻》惊呼，仿佛一夜间，中国“突然冒出了一个高端集成电路硅基片企业”。

　　如今，新傲公司作为目前国内唯一、国际屈指可数的SOI生产基地，不仅拥有国内唯一的SOI生产线，总资产也由10年前的1300万元，发展到超过10亿元。2006年，SOI项目获得国家科技进步一等奖（排名第一）。2009年，王曦当选为中科院院士。

　　“我们常说要‘顶天立地’，‘顶天’就是在基础研究方面做得非常杰出，‘立地’就是能够把产品的产业化做得好。”王曦说，“做科学家，尤其是应用学科的科学家，必须把自己的研究与国家的战略需要联系起来，要有大眼界，做大事，那样你才会变得强大，立于不败之地。”(记者 曹继军 颜维琦）